Вакууметры и вакуумные контроллеры

Модельный ряд вакуумметров покрывает широкий диапазон измеряемых давлений от атмосферного (примерно 1 000 мБар) до 0,001 мБар и включает в себя механические, электронные, аналоговые и цифровые инструменты.

Вакуум, используемый в современных научных и промышленных отраслях, достигает значений до 10-11 мБар.

Ниже 1 мБар давление обычно измеряется косвенно, другими словами, меряются характеристики (например, теплопроводность газа или его сжатие), известным образом связанные с давлением. Однако, очевидно, что подобные измерения зависят от состава газа и других его параметров.

Диафрагменные вакуумметры включают емкостной или пьезорезистивный датчик, в котором отклонения мембраны преобразуются в электрический сигнал (модели DVR). Пьезорезистивный датчик состоит из силиконовой диафрагмы с тензодатчиками (измерителями механического напряжения), определяющими давление. В емкостном датчике отклонение диафрагмы детектируется емкостным измерительным мостиком.

Вакуумметры Pirani применяются для измерения вакуума от 10 до 0,001 мБар. Измеряют термическую теплопроводность газа, зависящую от плотности газа, и, следовательно, от его давления. Данные приборы демонстрируют хорошую точность только в указанном диапазоне давлений. Отличительной особенностью описываемых измерителей является зависимость показаний от типа газа — при измерениях давления газов с хорошей теплопроводностью (например Не, Н2), реальное значение вакуума ниже отображаемого и наоборот. Приборы калиброваны на воздух (N₂).

Вакуумные контроллеры — это полностью электронные устройства, включающие вакуумметры и контрольные ячейки.